高质量的平板显示器的核心是薄膜晶体管（Thin film transistor ,TFT）矩阵的特性和制造技术。这本书主要介绍非晶硅（amorphous silicon，a-Si）TFT阵列大规模生产的制造技术。
   
全书共13章，从TFT元件的结构及特点，到TFT检查与修复。包括TFT阵列制作清洗工艺，成膜工艺，光刻工艺，不良解析和检查修复。从TFT阵列大规模制造的角度，第一次比较全面的介绍了TFT-LCD生产线的TFT阵列制造工艺技术，工艺参数，生产工艺技术管理，工艺材料规格，设备特性，品质控制，产品技术解析。以工艺原理，设备参数控制，材料特性要求，生产工艺文件要求等大规模生产技术要素为核心，比较完整的介绍了现代化信息制造业的工艺流程与工艺管理。

本书可作为平板显示行业工程师，技术人员，管理人员的参考用书，也可供高等院校相关专业方向研究人员，研究生以及相关行业从业人员参考。

《薄膜晶体管（TFT）阵列制造技术》 定价：45元
作者：谷至华（zhihuagu@126.com）
字数：40万，图：368幅，表：132
出版社：复旦大学出版社（上海科技专著出版资金资助图书）
出版日期：2007年9月底

序  —— 上海广电（集团）有限公司总裁 顾培柱 二○○七年八月八日

工业革命造就的工业社会，解决了人类肢体能力的延伸。人类进入信息社会，希望解决的是人类思想能力，即智力的延伸。计算机和网络技术的发展大大推动了社会信息化进程，而显示技术又为社会信息化提供了人机最主要的信息交换界面，其重要性越来越显现。社会的信息化推动了显示器件的平板化、便携化和节能化发展；反之，显示器件的日新月异发展又为社会信息化提供了必要条件。

液晶显示器件是大量现代科学技术成果的结晶，成为平板显示器件的主流，日益受到社会的青睐。本书系统介绍了液晶显示器件（TFT-LCD）的核心制造技术——TFT阵列制造技术，对该产业的研究和发展具有现实意义。我们产业界人士因从中受益而感谢作者谷至华先生的辛勤劳动。我相信教育界、科技界和经济界的其他人士也同样会从中受益。

愿我们的平板显示产业蓬勃发展！愿大家一起为平板显示产业的发展多作努力和贡献！

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