中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束开放研究实验室
中国科学院离子束开放研究实验室成立于1985年，是中国科学院第一批向国内外开放的实验室之一。实验室以离子束在先进功能材料及器件中的应用基础研究为主攻方向，同时注重在交叉学科中的应用及其相关基础问题的研究。目前主要研究内容有：离子注入电子材料及其在微电子、光电子器件中的应用；离子束、等离子体制备宽禁带半导体薄膜材料及其在真空微电子器件中的应用；离子束生物医学材料改性；离子束诱导薄膜定向生长及机理研究；离子束微细加工和图形化技术。

实验室学术委员会由15位国内材料领域的知名专家组成。实验室现有固定成员16名，其中中科院院士1名，副高级以上人员7名，博士后及硕博士研究生15名。

实验室主任：王曦
地址：上海长宁路865号
邮编：200050
电话：021-62511070 
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